Lithography Machine Mask Aligner Photo-Etching Machine
Шиносоии маҳсулот
Сарчашмаи нури экспозиция модули воридотии UV LED ва манбаи нурро бо гармии хурд ва устувории хуби манбаи рӯшноӣ қабул мекунад.
Сохтори равшании баръакс дорои таъсири хуби паҳншавии гармӣ ва таъсири наздики манбаи рӯшноӣ ва иваз ва нигоҳдории лампаи симоб оддӣ ва қулай аст. Бо микроскопи майдони дугонаи дурбинии баландсифат ва LCD экрани васеъи 21 дюйма муҷаҳҳаз шудааст, онро метавон тавассути визуалӣ ҳамоҳанг кард
Дисплей ё CCD + бо дақиқии баланд, раванди интуитивӣ ва кори қулай.
Вижагиҳо
Бо функсияи коркарди фрагментҳо
Сатҳи фишори тамос такроршавандаро тавассути сенсор таъмин мекунад
Фосилаи ҳамоҳангӣ ва холигии экспозицияро метавон ба таври рақамӣ муқаррар кард
Истифодаи компютери дарунсохт + амалиёти экрани сенсорӣ, оддӣ ва қулай, зебо ва саховатманд
Кашида навъи табақи боло ва поён, оддӣ ва қулай
Гӯшдории тамоси вакуумӣ, таъсири тамоси сахт, таъсири тамоси фишор ва таъсири наздикиро дастгирӣ кунед
Бо функсияи интерфейси нано импринт
Гӯшдории як қабат бо як калид, дараҷаи баланди автоматизатсия
Ин мошин дорои эътимоднокии хуб ва намоиши қулай аст, махсусан барои таълим, тадқиқоти илмӣ ва заводҳо дар коллеҷҳо ва донишгоҳҳо мувофиқ аст.
Тафсилоти бештар
Мушаххасот
1. Майдони экспозиция: 110mm × 110mm；
2. ★ Дарозии мавҷҳо: 365нм;
3. Ҳалли: ≤ 1m;
4. Дурустии ҳамворкунӣ: 0,8м;
5.Дипазони ҳаракати ҷадвали сканкунии системаи ҳамворкунӣ бояд ҳадди аққал мувофиқат кунад: Y: 10мм;
6. Қубурҳои нури чап ва рости системаи ҳамоҳангсозӣ метавонанд дар самтҳои X, y ва Z алоҳида ҳаракат кунанд, самти X: ± 5мм, самти Y: ± 5мм ва Z самти: ± 5мм;
7. Андозаи ниқоб: 2,5 дюйм, 3 дюйм, 4 дюйм, 5 дюйм;
8. Андозаи намуна: порча, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Муносиб барои ғафсӣ намуна: 0.5-6mm, ва метавонад 20mm дона намуна дар аксари дастгирӣ (фармоиши);
10. Ҳолати экспозиция: вақт (ҳолати ҳисоб);
11. Якрангии равшанӣ: ＜ 2,5%;
12. Микроскопи мутаносиби CCD майдони дугона: линзаи масштаб (1-5 маротиба) + линзаи объективии микроскоп;
13. Зарбаи ҳаракати ниқоб нисбат ба намуна бояд ҳадди аққал мувофиқат кунад: X: 5мм; Y: 5мм; : 6º；
14. ★ Зичии энергияи экспозиция: > 30МВт/см2,
15. ★ Мавқеи ҳамоҳангсозӣ ва мавқеъи экспозиция дар ду истгоҳ кор мекунад ва ду муҳаррики серво истгоҳ ба таври худкор мегузаранд;
16. Сатҳи фишори тамос такроршавандаро тавассути сенсор таъмин мекунад;
17. ★ Фосилаи ҳамоҳангӣ ва фосилаи экспозицияро метавон ба таври рақамӣ муқаррар кард;
18. ★ Он дорои интерфейси нано импринт ва интерфейси наздик аст;
19. ★ Амали экрани сенсорӣ;
20. Андозаи умумӣ: Дар бораи 1400мм (дарозӣ) 900мм (паҳно) 1500мм (баландӣ).
